УПВ-5

Устройство перемещения держателя кристалла

Основные функции устройства:

Обеспечение вертикального перемещения держателя кристалла/затравки.

Обеспечение вращения держателя кристалла / затравки (при установке блока вращения держателя кристалла)

Установка и подключение модуль измерения измерение массы на держателе кристалла

Описание

Технические характеристики устройства перемещения и вращения

Параметр	Значение
Длина хода вертикального перемещения, не менее	от 300 до 1200 мм
Точность вертикального перемещения	0.01 мм
Скорость вертикального перемещения	Ростовой режим: от 0.001 мм/час до 2.0 мм/час Ручной режим: от 0 до 1500 мм/мин
Привод вертикального перемещения	Шаговый двигатель
Контроль вертикального перемещения	Магнитная линейка с датчиком относительного положения
Точность контроля вертикального перемещения	0.01 мм
Допустимая нагрузка на платформу перемещения	20 кг.

Продукция